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超声波显微镜 

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申请/专利权人:上海和伍精密仪器股份有限公司

摘要:本实用新型提供一种超声波显微镜,包括:水槽,水槽包括第一导轨,第一导轨设置在水槽的顶部;控制平台,控制平台包括第一轴驱动电动机和第二轴驱动电动机,第一轴驱动电动机设置在第一导轨上,第二轴驱动电动机设置在第一轴驱动电动机上;检测组件,检测组件设置在控制平台上,检测组件包括至少一个第三轴驱动电动机和至少一个探头,探头设置在第三轴驱动电动机上。通过上述技术方案,增加第三轴驱动电机和探头的数量,扩大超声显微镜在同一时间的检测区域,实现对待检测工件的多角度扫描检测,获取全面准确的图像信息,进而提高超声波显微镜的扫描速度,提高成像速度。

主权项:1.一种超声波显微镜,其特征在于,包括:水槽,所述水槽包括第一导轨,所述第一导轨设置在所述水槽的顶部;控制平台,所述控制平台包括第一轴驱动电动机和第二轴驱动电动机,所述第一轴驱动电动机设置在所述第一导轨上,所述第二轴驱动电动机设置在所述第一轴驱动电动机上;检测组件,所述检测组件设置在所述控制平台上,所述检测组件包括至少一个第三轴驱动电动机和至少一个探头,所述探头设置在所述第三轴驱动电动机上。

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权利要求:

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