申请/专利权人：无锡江松科技股份有限公司

申请日：2020-02-19

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN111312636B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2022.03.22#著录事项变更;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：本发明公开了硅片小舟搬运夹爪，涉及硅片搬运技术领域。硅片小舟搬运夹爪包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部。通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上，通过夹紧块夹紧硅片小舟，从而实现对硅片小舟的位置的固定，再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳，进一步固定小舟在夹爪中的位置，通过旋转动力装置带动安装板的旋转，从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作，通过托举板的设置，保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来，进而避免了产品的损坏，通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。

主权项：1.硅片小舟搬运夹爪，其特征在于，包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，所述旋转部包括旋转动力装置和安装板，所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接，所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块，所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置连接在所述夹紧动力传输部的另一端，所述夹紧动力装置安装在所述安装板上，所述抵接部包括抵接板、抵接动力装置，所述抵接动力装置的固定端固定在所述安装板上，所述抵接动力装置的活动端与所述抵接板一端铰接，所述抵接板与所述安装板铰接，所述托举部包括托举板，所述托举板设置在所述夹紧块上；所述夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板，所述载板与所述安装板固定连接，所述连接板通过滑轨滑块活动的安装在所述载板上，所述夹紧动力装置的固定端固定在所述载板上，所述夹紧动力装置的活动端与所述三角板的第一个角点铰接，所述三角板的第二个角点与所述载板铰接，所述载板对应所述三角板的第三个角点开设有腰孔，所述三角板的第三个角点上设有滚轮，所述滚轮安装在所述腰孔内；所述旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆，所述旋转气缸的固定端固定在所述安装板上，所述旋转气缸的活动端与所述第一连杆的一端铰接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端与所述安装板铰接。

全文数据：

权利要求：

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