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申请/专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日：2022-10-24
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118302677A
主分类号：G01R1/06
分类号：G01R1/06;G01R1/073;H01L21/66
优先权：["20211122 JP 2021-189201"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：探针收纳治具收纳具有悬臂构造的臂部和与臂部的固定端连接的支承部的探针。探针收纳治具具有将第1导向板和第2导向板层叠而成的结构。在第1导向板和第2导向板分别形成有从上表面贯通至下表面的贯通孔。探针收纳治具以在从探针收纳治具的上方观察时支承部的上部暴露，且在从探针收纳治具的下方观察时臂部的自由端的前端暴露的状态保持探针，该探针贯穿了第1导向板和第2导向板各自的贯通孔。探针收纳治具构成为第1导向板和第2导向板能够移动从而由第1导向板和第2导向板夹住探针。
主权项：1.一种探针收纳治具，其收纳具有悬臂构造的臂部和与所述臂部的固定端连接的支承部的探针，其中，该探针收纳治具具有将用相对的上表面和下表面分别定义了两面且分别形成有从所述上表面贯通至所述下表面的贯通孔的第1导向板和第2导向板层叠而成的结构，该探针收纳治具以所述探针贯穿所述第1导向板和所述第2导向板各自的所述贯通孔，并且在从上方观察时所述支承部的上部暴露，且在从下方观察时所述臂部的自由端的前端暴露的状态保持所述探针，该探针收纳治具构成为所述第1导向板和所述第2导向板能够沿与所述贯通孔的贯通方向交叉的方向相对地移动从而由所述第1导向板和所述第2导向板夹住所述探针。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 探针收纳治具、探针收纳系统及探针收纳方法
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