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申请/专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
摘要：本申请涉及一种基于音叉探针的太赫兹近场扫描系统，包括载物台、音叉以及探针；所述载物台上表面放置有样品，所述载物台上方设置有用于采集图像的光学显微镜，所述音叉远离样品端设置有用于驱动音叉移动且能够用于记录探针针尖与样品表面的距离的驱动组件，所述探针一端固定于所述音叉，所述探针另一端朝向所述样品，所述音叉电连接驱动电路，其中，所述驱动电路包括用于驱动音叉振动的输入驱动模块以及用于获取所述音叉振动对应频漂信息的频漂采集模块。本申请通过上述设置，可以简化操作步骤，从而提高太赫兹近场扫描时的效率。
主权项：1.一种基于音叉探针的太赫兹近场扫描系统，其特征在于，包括载物台、音叉以及探针；所述载物台上表面放置有样品，所述载物台上方设置有用于采集图像的光学显微镜，所述音叉远离样品端设置有用于驱动音叉移动且能够用于记录探针针尖与样品表面的距离的驱动组件，所述探针一端固定于所述音叉，所述探针另一端朝向所述样品，所述音叉电连接驱动电路，其中，所述驱动电路包括用于驱动音叉振动的输入驱动模块以及用于获取所述音叉振动对应频漂信息的频漂采集模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院深圳先进技术研究院 一种基于音叉探针的太赫兹近场扫描系统
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