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申请/专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日：2022-12-26
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118294022A
主分类号：G01J5/20
分类号：G01J5/20;G01J5/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请提供一种微桥结构及红外探测器，涉及红外探测技术领域，用于解决热学特性和稳定性需要提升的技术问题，其中，沿远离衬底的方向，第一桥臂层、第二桥臂层和桥面层依次间隔排布，第一桥墩连接第一桥臂层和桥面层，第二桥墩连接第一桥臂层和衬底，第三桥墩连接第二桥臂层和桥面层，第四桥墩连接第二桥臂层和衬底；第一桥墩和第三桥墩分别位于桥面层的一组对角处，第二桥墩和第四桥墩在桥面层的正投影分别位于桥面层的另一组对角处。第一桥臂层和第二桥臂层分层设置，设计冗余度大，可获得较好的热学特性。第一桥墩和第三桥墩分别位于桥面层的一组对角处，第二桥墩和第四桥墩在桥面层的正投影分别位于桥面层的另一组对角处，提高稳定性。
主权项：1.一种微桥结构，其特征在于，所述微桥结构设置在衬底上，所述微桥结构包括：第一桥臂层、第二桥臂层、桥面层、第一桥墩、第二桥墩、第三桥墩和第四桥墩；沿远离所述衬底的方向，所述第一桥臂层、所述第二桥臂层和所述桥面层依次间隔排布，所述第一桥墩连接所述第一桥臂层和所述桥面层，所述第二桥墩连接所述第一桥臂层和所述衬底，所述第三桥墩连接所述第二桥臂层和所述桥面层，所述第四桥墩连接所述第二桥臂层和所述衬底；所述第一桥墩和所述第三桥墩分别位于所述桥面层的一组对角处，所述第二桥墩和所述第四桥墩在所述桥面层的正投影分别位于所述桥面层的另一组对角处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路研发中心有限公司 微桥结构及红外探测器
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