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申请/专利权人：青海晶科能源有限公司;四川晶科能源有限公司
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299460A
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L21/67;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明公开了一种细晶检测装置及其检测方法，涉及光伏技术领域，包括行程检测模块和判断控制模块，行程检测模块获取籽晶行程值，判断控制模块将籽晶行程值与预设行程值进行比较，当籽晶行程值不小于预设行程值时，判断单晶炉是否进入单晶棒收尾工序；细晶检测装置还对细晶的直径和氧化发彩参数进行检测并与预设直径和预设氧化发彩参数对比，判定进入单晶棒收尾工序的时机；如此，可获得较为准确的进入收尾阶段的实际，规避生产安全隐患，提高生产效率。
主权项：1.一种细晶检测装置，应用于单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉体，所述炉体内设置坩埚、加热器和位于所述坩埚上方的提拉机构，所述提拉机构用于固定籽晶轴的顶端，所述籽晶轴的底端设有籽晶；所述坩埚用于盛装多晶硅液，所述籽晶轴底端的籽晶从所述多晶硅液中引出细晶；所述提拉机构用于使所述籽晶沿着籽晶轴的延伸方向运动；所述细晶检测装置包括行程检测模块和判断控制模块；所述行程检测模块与所述提拉机构电连接，用于获取所述籽晶向上运动的籽晶行程值；所述判断控制模块用于将所述籽晶行程值与预设行程值进行比较，当所述籽晶行程值不小于所述预设行程值时，判断所述单晶炉是否进入单晶棒收尾工序；所述单晶炉在所述单晶棒收尾工序，所述单晶棒与所述多晶硅液分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青海晶科能源有限公司 四川晶科能源有限公司 细晶检测装置及其检测方法
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