申请/专利权人：默克专利股份有限公司

申请日：2022-11-10

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118302461A

主分类号：C08F220/30

分类号：C08F220/30;C09D133/10;G03F7/004;G03F7/26;H01L21/02;C08F8/12

优先权：["20211112 US 63/263,973"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.07.05#公开

摘要：本发明涉及结构A的无规共聚物，其包含结构I的重复单元、结构II的重复单元、两个末端基团R3和R4，其中末端基团R3是结构IIIa的结构部分，并且要么是C‑1至C8烷基，要么是结构III的结构部分，和末端基团R4是衍生自终止阴离子聚合的结构部分，并且要么选自H、C‑1至C‑8烷基、C‑1至C‑8烷基羰基、C‑1至C‑8三烷基甲硅烷基、C‑1至C‑8二烷基甲硅烷基、C‑1至C‑8单烷基甲硅烷基、硅烷和苄基结构部分，要么是结构IV的结构部分，和其中R3和R4二者不能同时分别选自结构III的结构部分和结构IV的结构部分，和要么R3是结构III的结构部分，要么R4是结构IV的结构部分。本发明还涉及包含这种共聚物和有机旋转流延溶剂的组合物，以及这种组合物用于形成用于在DSA处理中使用的接枝中性层的用途。

主权项：1.一种结构A的无规共聚物，其包含结构I的重复单元，其中Rm1为C-1至C-8烷基，R1为包含结构V的结构部分的苄基结构部分，其中Rbenz为独立地选自H、C-1至C-4烷基和C-1至C-4烷氧基的取代基，L3为C-1至C-4亚烷基，和“*”表示此取代基与此重复单元的连接点，和n1表示在所述共聚物中此重复单元的数目，且进一步地，其中此重复单元的摩尔％为约40摩尔％至约100摩尔％，结构II的重复单元，其中Rm2为C-1至C-8烷基，R2为选自以下的结构部分：C-1至C-20直链烷基、C-3至C-20支链烷基和C-5至C-20环状烷基、结构VI的环己基亚烷基结构部分、结构VII的蒽基亚烷基结构部分、结构VIII的萘基亚烷基结构部分和结构VIV的联苯结构部分，其中L4和L5独立地选自C-1至C-4亚烷基，L6和L7独立地选自直接的价键或C-1至C-4亚烷基结构部分，Rcycl、Ranth、Rnaph、Rbiph是独立地选自H、C-1至C-4烷基和C-1至C-4烷氧基的取代基，n2表示在所述共聚物中此重复单元的数目，且进一步地，其中此重复单元的摩尔％为约0摩尔％至约60摩尔％，且进一步地，其中在结构I和II的重复单元的所述共聚物中的重复单元的总摩尔％为100摩尔％；两个末端基团R3和R4，其中末端基团R3，其衍生自阴离子引发剂，其中R3要么是结构IIIa的结构部分，要么是结构III的结构部分，其中L1是C-1至C-8亚烷基，且R5是H、缩醛保护基团或三烷基甲硅烷基保护基团，R6是C-1至C-8烷基，和Re1和Re2独立地选自H、C-1至C-8烷基和C-1至C-8烷氧基，和“*”表示此末端基团与所述结构A的共聚物的连接点，和其中R4要么选自H、C-1至C-8烷基、C-1至C-8烷基羰基烷基-C＝O-、C-1至C-8三烷基甲硅烷基烷基3Si-、C-1至C-8二烷基甲硅烷基烷基2HSi-、C-1至C-8单烷基甲硅烷基-烷基H2Si-、硅烷-H3Si-和苄基结构部分，要么是结构IV的结构部分，其中L2为C-2至C-8亚烷基，且R7为H、缩醛保护基团或三烷基甲硅烷基保护基团，R8选自H、C-1至C-8烷基、C-1至C-8烷基羰基烷基-C＝O-、C-1至C-8三烷基甲硅烷基烷基3Si-、C-1至C-8二烷基甲硅烷基烷基2HSi-、C-1至C-8单烷基甲硅烷基-烷基H2Si-、硅烷-H3Si-和苄基结构部分，和Re3选自H、C-1至C-8烷基和C-1至C-8烷氧基，和“*”表示所述末端基团与所述结构A的共聚物的连接点，并且进一步地，其中R3和R4二者不能同时分别选自结构III的结构部分和结构IV的结构部分，并且要么R3是结构III的结构部分，要么R4是结构IV的结构部分：

全文数据：

权利要求：

百度查询： 默克专利股份有限公司 用于具有含聚(苯乙烯)和聚(甲基丙烯酸甲酯)链段的嵌段共聚物的自组装的具有可调极性的中性刷

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