申请/专利权人：江苏芯诺半导体科技有限公司

申请日：2024-04-17

公开（公告）日：2024-07-02

公开（公告）号：CN118064961B

主分类号：C30B11/00

分类号：C30B11/00;C30B29/06;F27D17/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.02#授权;2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.24#公开

摘要：本发明公开了一种半导体重掺单晶硅棒制造中的集尘系统及方法，包括硅单晶炉，所述硅单晶炉的一端贯通连接有调节阀，所述调节阀的一端贯通连接有真空阀门，所述真空阀门的一端贯通连接有旋风集尘装置，所述旋风集尘装置的出口端贯通连接有真空过滤器，所述真空过滤器的一端贯通连接有真空泵，所述旋风集尘装置的进口端还贯通连接有单向阀，所述单向阀的一端贯通连接有两位两通电磁阀，所述两位两通电磁阀的输入端与旋风集尘装置的出口端贯通连接，所述两位两通电磁阀的输出端分别贯通连接有气体检测传感器和三通电磁阀，所述旋风集尘装置包括外壳体，所述外壳体的底部一体式连接有漏斗部，本发明，具有实用性强的特点。

主权项：1.一种半导体重掺单晶硅棒制造中的集尘系统，其特征在于：包括硅单晶炉（1），所述硅单晶炉（1）的一端贯通连接有调节阀（2），所述调节阀（2）的一端贯通连接有真空阀门（3），所述真空阀门（3）的一端贯通连接有旋风集尘装置（4），所述旋风集尘装置（4）的出口端贯通连接有真空过滤器（5），所述真空过滤器（5）的一端贯通连接有真空泵（6）；所述旋风集尘装置（4）的进口端还贯通连接有单向阀（7），所述单向阀（7）的一端贯通连接有两位两通电磁阀（8），所述两位两通电磁阀（8）的输入端与旋风集尘装置（4）的出口端贯通连接，所述两位两通电磁阀（8）的输出端分别贯通连接有气体检测传感器（9）和三通电磁阀（10）；所述旋风集尘装置（4）包括外壳体（43），所述外壳体（43）的底部一体式连接有漏斗部（431），所述外壳体（43）的内壁通过轴承转动连接有中空杆（42），所述中空杆（42）的底部连接有锥头杆（47），所述锥头杆（47）的底部安装有颗粒物收集斗（41），所述中空杆（42）的顶部通过轴承活动连接有排气管（44），所述排气管（44）和漏斗部（431）均安装有安装座（12），所述锥头杆（47）的顶部开设有若干个缺口（472）；所述颗粒物收集斗（41）的底部与外部转矩相连接，所述中空杆（42）的外部安装有气体运送螺旋（421），所述锥头杆（47）的外部安装有液体运送螺旋（471），所述外壳体（43）的顶部外壁贯通连接有清洗管（45）；所述中空杆（42）的外壁安装有电磁环一（482），所述三通电磁阀（10）的一端贯通连接有罗茨泵（11），所述罗茨泵（11）的一端连接有伸缩波纹管（481），所述伸缩波纹管（481）的一端连接有电磁环二（483），所述电磁环二（483）与电磁环一（482）相互磁力配合。

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权利要求：

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