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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及单晶硅生产设备的领域，尤其是涉及一种埚托和单晶炉组合埚具。其一，本申请涉及一种埚托，包括埚托本体；埚托本体上设置有凸起部。坩埚能够放置在埚托本体上，并且埚托能够对坩埚进行有效承托，并且埚托与坩埚的接触面积增加，有助于提升坩埚的散热效果。其二，本申请涉及一种单晶炉组合埚具，包括CCZ异形坩埚和埚托。CCZ异形坩埚和埚托组成的单晶炉组合埚具，具有散热效率高、提升晶棒径向品质均匀度、提高产量、有利CCZ加料熔料等优点。
主权项：1.一种埚托，其特征在于：包括埚托本体（3）；所述埚托本体（3）的中心位置处设置有凸起部（31）；所述埚托本体（3）上开设有通气道（33），所述通气道（33）延伸至凸起部（31）内；所述凸起部（31）内设置有存气槽（32），所述通气道（33）与存气槽（32）连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 埚托和单晶炉组合埚具
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