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申请/专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会;奥克门泰德股份有限公司
申请日：2022-11-18
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118284838A
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08;G02B26/10
优先权：["20211119 DE 102021213028.3"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.02#公开
摘要：本申请涉及一种微机械部件1和用于制备微机械部件1的方法。所提出的微机械部件1包括分层结构和至少一个压电元件10。压电元件10包含第一电极5和第二电极27，用于产生和或检测偏转元件16的挠度。偏转元件16与支架17连接。微机械部件1的分层结构包括硅衬底2、导电半导体层26、压电层7和导电层膜12。导电半导体层26形成压电元件的第一电极5，导电层膜12形成压电元件的第二电极27，其中，导电半导体层26同时形成偏转元件16的载体层28。
主权项：1.一种微机械部件1，所述微机械部件1具有分层结构和至少一个压电元件10，所述至少一个压电元件10包含第一电极5和第二电极27，用于产生和或检测偏转元件16的挠度，所述偏转元件16与支架17连接，其中，所述分层结构包括硅衬底2、导电半导体层26、压电层7和导电层膜12；其特征在于，所述导电半导体层26形成所述压电元件的第一电极5，所述导电层膜12形成所述压电元件的第二电极27，并且其中，所述导电半导体层26同时形成所述偏转元件16的载体层28。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 奥克门泰德股份有限公司 微机械部件及其制备方法
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