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申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221240533U
主分类号：H05H1/24
分类号：H05H1/24;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/32
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本申请涉及一种组件安装结构，用于射频离子源，所述射频离子源包括主体结构、放电腔和栅网组件；所述组件安装结构包括：放电腔托板，放电腔压环，以及栅网组件压环；其中，所述放电腔托板安装于射频离子源的主体结构的上端，并通过螺丝进行固定到所述主体结构上；所述放电腔套入到所述放电腔托板上；所述放电腔压环扣压在放电腔上端，并通过第一螺丝固定到所述主体结构上；所述栅网组件叠加在所述放电腔压环上部；所述栅网组件压环扣压在所述栅网组件上，并通过第二螺丝固定到所述主体结构上；该技术方案，降低了安装难度，提升安装效率，降低了安装风险。
主权项：1.一种组件安装结构，用于射频离子源100，所述射频离子源100包括主体结构01、放电腔02和栅网组件03；其特征在于，所述组件安装结构包括：放电腔托板11，放电腔压环21，以及栅网组件压环31；其中，所述放电腔托板11安装于射频离子源100的主体结构01的上端，并通过螺丝进行固定到所述主体结构01上；所述放电腔02套入到所述放电腔托板11上；所述放电腔压环21扣压在放电腔02上端，并通过第一螺丝211固定到所述主体结构01上；所述栅网组件03叠加在所述放电腔压环21上部；所述栅网组件压环31扣压在所述栅网组件03上，并通过第二螺丝311固定到所述主体结构01上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 组件安装结构及射频离子源
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