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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239599U
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开一种晶圆拾取组件，包括：可沿水平方向移动的支撑板，所述支撑板的下表面安装有一条形片，一端与支撑板的下表面密封连接的所述条形片的另一端沿支撑板的移动方向延伸，所述条形片与支撑板连接一端的上表面开设有一气槽，所述条形片远离支撑板一端的上表面开设有若干个用于与晶圆片配合的吸附孔，每个所述吸附孔周向的外侧均具有一凸起部，使得该凸起部的上表面高于条形片的上表面。本实用新型既便于将条形片伸入上下叠置的晶圆片之间并对条形片上方的晶圆片进行吸附拾取、搬运且可以有效避免因吸附力不足导致晶圆片跌落的情况，又通过多个凸起部与晶圆片局部面接触，在保证对晶圆片吸附力的同时减少与晶圆片的接触干扰。
主权项：1.一种晶圆拾取组件，包括：可沿水平方向移动的支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）的下表面安装有一条形片（3），一端与支撑板（1）的下表面密封连接的所述条形片（3）的另一端沿支撑板（1）的移动方向延伸，所述条形片（3）与支撑板（1）连接一端的上表面开设有一气槽（4），所述支撑板（1）上开设有一与所述气槽（4）对应的气孔（2），上端与真空发生器连通的所述气孔（2）的下端与条形片（3）上的气槽（4）连通；所述条形片（3）远离支撑板（1）一端的上表面开设有若干个用于与晶圆片（100）配合的吸附孔（5），每个所述吸附孔（5）与气槽（4）之间均通过开设于条形片（3）内的气道（6）连通，每个所述吸附孔（5）周向的外侧均具有一凸起部（8），使得该凸起部（8）的上表面高于条形片（3）的上表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 晶圆拾取组件
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