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申请/专利权人：杭州富芯半导体有限公司
申请日：2023-09-20
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221231189U
主分类号：B08B3/08
分类号：B08B3/08;B08B13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本公开涉及晶圆加工设备技术领域，提供了一种晶圆承载件的清洁装置及晶圆承载装置，其包括清洁单元；晶圆承载件背对晶圆的一侧具有待清洁面；待清洁面与固定载台之间形成清洁容腔；清洁单元通过自身中的清洁管路与清洁容腔导通设置；清洁管路用于朝向清洁容腔供送清洁介质，以清洗晶圆承载件背对晶圆的一侧；或清洁管路用于从清洁容腔抽吸清洁介质。该晶圆承载件的清洁装置具有清洗效率快速、清洗效果好、不会对晶圆吸盘的安装位置造成影响、能够提高晶圆机台产能效率的有益效果。
主权项：1.一种晶圆承载件的清洁装置，其特征在于，包括：清洁容腔，所述清洁容腔设置在固定载台的上表面，所述清洁容腔朝上设置有开口；清洁单元6，包括介质供送源及介质抽吸源，所述介质供送源内具有的清洁介质，所述介质抽吸源用于抽吸清洁介质；清洁管路2，分别将所述介质供送源及所述介质抽吸源与所述清洁容腔导通连接；其中，所述介质供送源通过所述清洁管路2将所述清洁介质供送至所述清洁容腔；所述介质抽吸源通过所述清洁管路2抽吸所述清洁容腔内的所述清洁介质；所述清洁管路2包括供送管路21和抽吸管路22；所述供送管路21的一端与所述介质供送源导通连接，另一端与所述清洁容腔导通连接，且该端位于所述清洁容腔内；所述抽吸管路22的一端与所述介质抽吸源导通连接，另一端与所述清洁容腔导通连接，且该端位于所述清洁容腔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州富芯半导体有限公司 晶圆承载件的清洁装置及晶圆承载装置
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