龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239594U
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开一种晶圆水平搬运机构，包括：平行且间隔设置的左立柱、右立柱和连接于左立柱与右立柱之间的横杆，所述横杆前侧的两端分别可转动地设置有左皮带轮、右皮带轮，所述左皮带轮与右皮带轮之间通过一皮带传动连接，所述皮带上安装有一支撑板，所述支撑板的水平部下表面安装有一陶瓷片，所述陶瓷片与支撑板连接一端的上表面开设有一气槽，所述陶瓷片远离支撑板一端的上表面或者下表面上开设有若干个用于与晶圆片配合的吸附孔。本实用新型便于将陶瓷片伸入上下叠置的晶圆片之间并对逐一对晶圆片进行吸附拾取与搬运且不会损伤晶圆，还可以有效避免拾取过程中产生静电而对晶圆片以及后续加工产生不良干扰。
主权项：1.一种晶圆水平搬运机构，包括：平行且间隔设置的左立柱（1）、右立柱（2）和连接于左立柱（1）与右立柱（2）之间的横杆（3），所述横杆（3）前侧的两端分别可转动地设置有左皮带轮（41）、右皮带轮（42），所述左皮带轮（41）与右皮带轮（42）之间通过一皮带（5）传动连接，一安装于横杆（3）后侧的电机（6）的输出轴与左皮带轮（41）或右皮带轮（42）连接，其特征在于：所述皮带（5）上安装有一支撑板（7），可随皮带（5）在水平方向上移动的所述支撑板（7）的竖直部（71）与皮带（5）连接；所述支撑板（7）的水平部（72）下表面安装有一陶瓷片（8），所述陶瓷片（8）与支撑板（7）连接一端的上表面开设有一气槽（81），所述支撑板（7）的水平部（72）上开设有一与所述气槽（81）对应的气孔（73），上端与真空发生器连通的所述气孔（73）的下端与陶瓷片（8）上的气槽（81）连通，所述陶瓷片（8）远离支撑板（7）一端的上表面或者下表面上开设有若干个用于与晶圆片（100）配合的吸附孔（82），每个所述吸附孔（82）与气槽（81）之间均通过开设于陶瓷片（8）内的气道（83）连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 晶圆水平搬运机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号