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申请/专利权人：无锡透平叶片有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256890A
主分类号：C23C16/20
分类号：C23C16/20;C23C16/448
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了提供了一种涡轮叶片的化学气相沉积Al涂层的方法，其形成的Al涂层，无杂质，且涂层涂覆均匀。其中内部发生器、外部发生器原料为高纯Al粒，通入外部发生器内部的HCl气体作为反应气体,通入Ar作为载气，反应产物为气相AlCl3，通入内部发生器后反应生成气相AlCl，在进入反应罩内生成渗Al涂层，最后放入真空处理炉中经扩散热处理后完成加工，采用本发明的化学气相沉积Al涂层方法，则叶片外表面及内腔渗层均匀，渗层中无杂质及杂质颗粒存在。
主权项：1.一种涡轮叶片的化学气相沉积Al涂层的方法，其特征在于：其包括以下步骤：S1、将叶片的叶顶及榫头及其他装配面进行遮蔽，然后将所述叶片装夹在反应罩内的工装上，所述反应罩内部的内部发生器内部放入铝颗粒，所述反应罩外部的外部发生器内部放入铝颗粒；S2、将所述反应罩内部抽真空后通入Ar气体，使得所述反应罩压力达到200~500mbar，然后通过所述反应罩外部的加热罩进行加热，所述反应罩内部温度达到600~660℃后，所述反应罩内部的内部发生器通入流速为10~15mlmin的H2气体；S3、所述反应罩达到900~1050℃后，加热所述外部发生器至300~330℃，同时通入流速0.5~1.0mlmin的HCl气体和4~6mlmin的Ar气体至所述外部发生器,所述外部发生器内反应生成的气相AlCl3通入所述内部发生器，保持120~360min；S4、通入大量Ar气体至所述反应罩进行冷却，打开所述反应罩，取下叶片；S5、将所述叶片再放入真空热处理炉中进行扩散热处理，温度980~1050℃，保温时间120~240min，充Ar气体冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡透平叶片有限公司 一种涡轮叶片的化学气相沉积Al涂层的方法
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