申请/专利权人:北京北方华创真空技术有限公司
申请日:2024-03-28
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118256893A
主分类号:C23C16/44
分类号:C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本申请涉及气相沉积技术领域,尤其是涉及一种用于化学气相沉积液态前驱体的供液系统,一种用于化学气相沉积液态前驱体的供液系统,包括依次连通的补液罐、储液罐、液体质量流量控制器和汽化装置,补液罐与储液罐之间设置有用于使液态前驱体流入储液罐的供液泵。本申请能减少液态前驱体的储存风险。
主权项:1.一种用于化学气相沉积液态前驱体的供液系统,其特征在于,包括依次连通的补液罐(1)、储液罐(2)、液体质量流量控制器(3)和汽化装置(4),所述补液罐(1)与所述储液罐(2)之间设置有用于使液态前驱体流入所述储液罐(2)的供液泵(11)。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京北方华创真空技术有限公司 一种用于化学气相沉积液态前驱体的供液系统
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