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一种单晶炉籽晶预热自动系统控制方法 

申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

申请日:2024-04-23

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118256994A

主分类号:C30B29/06

分类号:C30B29/06;C30B15/20;C30B15/36

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明公开了一种单晶炉籽晶预热自动系统控制方法,具体涉及单晶预热控制技术领域,包括拉晶控制系统,该方法执行籽晶预热功能时,对籽晶进行分步预热,具体包括步骤一、增加籽晶预热功能并对参数进行设置和自动调整;步骤二、增加三步下降参数和等待预热时间参数;步骤三、将籽晶将按照第一晶位第二晶位第三晶位的顺序下降,并设置预热停留时间;步骤四、控制参数运行。本发明能够有效避免籽晶一次性降到液面由于骤冷骤热造成籽晶挂灰、发彩问题从而导致熔接时位错密度增加,从而导致放肩断线的现象。

主权项:1.一种单晶炉籽晶预热自动系统控制方法,包括拉晶控制系统,其特征在于:该方法执行籽晶预热功能时,对籽晶进行分步预热,具体步骤为:步骤一、在拉晶控制系统的界面增加籽晶预热功能,并对该功能逻辑的运行参数进行设置,建立基于历史数据的机器学习模型,用于预测最优的预热参数,并根据预热温度利用拉晶控制系统对所设置的参数进行自动调整;步骤二、在籽晶预热功能中增加三步下降参数和等待预热时间参数;所述三步下降参数包括籽晶下降第一晶位、籽晶下降第二晶位和籽晶下降第三晶位的下降参数;所述对应的等待预热时间参数包括籽晶第一晶位等待时间、籽晶第二晶位等待时间、籽晶第三晶位等待时间;步骤三、在执行籽晶预热功能时,根据设置的参数,籽晶将按照第一晶位第二晶位第三晶位的顺序下降,并在到达对应晶位时,根据设置的时间停留进行预热;步骤四、在上述步骤的基础上,通过在拉晶系统界面增加籽晶预热功能,此功能将按照第一晶位、第二晶位、第三晶位的参数设置值下降籽晶,并根据第一等待时间、第二等待时间和第三等待时间进行籽晶分布停留预热时间。

全文数据:

权利要求:

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