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【实用新型】晶圆翻转装置_中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司_202322512067.0 

申请/专利权人:中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司

申请日:2023-09-15

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221201136U

主分类号:H01L21/687

分类号:H01L21/687

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本实用新型公开了一种晶圆翻转装置,晶圆翻转装置包括:支撑结构、翻转机构、第一套夹持机构和第二套夹持机构;翻转机构转动连接在支撑结构上,翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动;第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置,每套夹持机构用于夹持一个晶圆;翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时,能够带动第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆翻转。可以将两片晶圆放置到晶圆翻转装置中提前进行翻转,从而不同工艺或同一工艺之间的晶圆加工设备直接从晶圆翻转装置中取出已经完成翻转的晶圆即可,无需等待晶圆的翻转,减少晶圆加工设备等待晶圆翻转的时间,提高晶圆加工设备的利用率及加工效率,提高产线产能。

主权项:1.一种晶圆翻转装置,其特征在于,包括:支撑结构;翻转机构,转动连接在所述支撑结构上,用于在第一状态和第二状态之间转动;第一套夹持机构和第二套夹持机构,所述第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置,每套夹持机构用于夹持一个晶圆;其中,所述翻转机构在所述第一状态和所述第二状态之间转动时,能够带动所述第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆翻转。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司 晶圆翻转装置

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