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闪耀光栅制备装置及闪耀光栅制备方法 

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申请/专利权人:东莞旭和光电科技有限公司

摘要:本发明涉及光栅制备技术领域,公开了一种闪耀光栅制备装置及闪耀光栅制备方法,闪耀光栅制备装置包括蒸发源,用于提供蒸发的金属镀材;光栅基板,与蒸发源间隔设置,光栅基板用于沉积金属镀材以形成光栅;狭缝组件,设于光栅基板朝向蒸发源的一侧,狭缝组件包括两个层叠设置且可相对滑动的狭缝网,每个狭缝网上开设有多个平行且用于通过金属镀材的狭缝,每个狭缝网中相邻的狭缝之间的狭缝间距为光栅常数的整数倍。上述闪耀光栅制备装置及制备方法通过设于蒸发源和光栅基板之间的狭缝组件控制金属镀材沉积到光栅基板上的位置及厚度,可制备任意闪耀角和任意光栅常数的闪耀光栅,结构及操作简单,适用性强。

主权项:1.一种闪耀光栅制备装置,其特征在于,包括:蒸发源,用于提供蒸发的金属镀材;光栅基板,与所述蒸发源间隔设置,所述光栅基板用于沉积所述金属镀材以形成光栅;狭缝组件,设于所述光栅基板朝向所述蒸发源的一侧,所述狭缝组件包括两个层叠设置且可相对滑动的狭缝网,每个所述狭缝网上开设有多个平行且用于通过所述金属镀材的狭缝,每个所述狭缝网中相邻的所述狭缝之间的狭缝间距为光栅常数的整数倍,所述两个狭缝网的结构相同。

全文数据:

权利要求:

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