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用于制备闪耀光栅的第一模具、闪耀光栅及制备方法 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司

摘要:本申请实施例提供了一种用于制备闪耀光栅的第一模具及其制备方法、闪耀光栅及其制备方法和显示装置,第一模具包括第一基底和设于第一基底一侧的多个周期排布的第一图案单元。每一周期第一图案单元包括沿平行于第一基底的第一方向排布的第一光刻胶结构和第一阻挡结构;每一第一图案单元的第一阻挡结构、以及下一第一图案单元的第一光刻胶结构和第一阻挡结构依次连接。沿第一方向,任意两个相邻第一图案单元的第一阻挡结构之间具有第一设计距离,即相邻第一阻挡结构之间的间距保持不变,使得位于相邻第一阻挡结构之间的第一光刻胶结构始终具有第一设计宽度,保证第一模具的设计精确度,进而保证基于第一模具制备得到的闪耀光栅的设计精确度。

主权项:1.一种用于制备闪耀光栅的第一模具,其特征在于,包括:第一基底、设于所述第一基底一侧的多个周期排布的第一图案单元;每一周期所述第一图案单元包括沿平行于所述第一基底的第一方向排布的第一光刻胶结构和第一阻挡结构;任意两个相邻所述第一图案单元之间,上一所述第一图案单元的所述第一阻挡结构、以及下一所述第一图案单元的所述第一光刻胶结构和所述第一阻挡结构依次连接;沿所述第一方向,任意两个相邻所述第一图案单元的所述第一阻挡结构之间具有第一设计距离,使得所述第一光刻胶结构具有第一设计宽度;所述第一阻挡结构包括:阵列排布的多个柱状的疏水结构;每一所述疏水结构的厚度为50纳米~150纳米;每一所述第一阻挡结构中,相邻疏水结构的中心之间沿所述第一方向的间距为40纳米~100纳米。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 京东方科技集团股份有限公司 用于制备闪耀光栅的第一模具、闪耀光栅及制备方法

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