龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市中复进科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种曝光系统用载物台板及曝光系统，载物台板包括基板，所述基板相对的第一边缘和第二边缘上设置有避空缺口以用于搬运机构升降；所述第一边缘和第二边缘对应的基板的中轴上设置有中心气吸条带；所述中心气吸条带与第一边缘之间以及所述中心气吸条带与第二边缘之间的基板上分别设有第一冷却水槽围绕区和第二冷却水槽围绕区；所述第一冷却水槽围绕区和第二冷却水槽围绕区内的基板上设有顶针条带区和气吸过渡区；所述第一边缘和第二边缘的基板上设置有边缘气吸区。本实用新型直接在载物台板上设计冷却水槽围绕区对其上放置的玻璃进行散热，同时利用气吸和顶针控制其上玻璃的固定和解吸，散热设计难度低，玻璃取放更加方便。
主权项：1.一种曝光系统用载物台板，其特征在于，包括基板，所述基板的第一边缘上设置有第一避空缺口和第二避空缺口，所述基板的第二边缘上设置有第三避空缺口和第四避空缺口，所述第一边缘和所述第二边缘为所述基板的一组对边；所述第一边缘和所述第二边缘对应的所述基板的中轴上设置有中心气吸条带；所述中心气吸条带与所述第一边缘之间的所述基板上设置有第一冷却水槽围绕区；所述中心气吸条带与所述第二边缘之间的所述基板上设置有第二冷却水槽围绕区；所述第一冷却水槽围绕区内的所述基板上设置有第一顶针条带区和第一气吸过渡区；所述第二冷却水槽围绕区内的所述基板上设置有第二顶针条带区和第二气吸过渡区；所述第一边缘的所述基板上设置有第一边缘气吸区，所述第二边缘的所述基板上设置有第二边缘气吸区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市中复进科技有限公司 一种曝光系统用载物台板及曝光系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号