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申请/专利权人：深圳新宙邦科技股份有限公司
摘要：为克服现有技术中蚀刻液对衬底材料Si蚀刻引起粗糙度大的问题，本申请提供一种BOE蚀刻液，包括氟化氢、氟化铵和结构式1所述的腐蚀抑制剂，其中，R1为取代或未被取代的烷基，所述取代基为羟基或胺基中的至少一种；R2为碳原子数大于3的烃基；本申请提供的BOE蚀刻液，具有降低蚀刻液的表面张力，降低硅片粗糙度，SiO2Si蚀刻选择比大且蚀刻后无氧化硅残留的效果。
主权项：1.一种BOE蚀刻液，其特征在于，包括氟化氢、氟化铵和结构式1所述的腐蚀抑制剂， 结构式1其中，R1为取代或未被取代的烷基，取代基为羟基或胺基的至少一种；R2为碳原子数大于3的烃基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳新宙邦科技股份有限公司 一种BOE蚀刻液
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