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申请/专利权人：江苏联恒电子新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯BOE蚀刻液生产设备及其生产工艺，包括：去气腔室，其下端的直径大于其上端的直径；进料管和出料管，均与去气腔室底部连通，且具有可控制管道开关的阀门；旋转轴，转动设置在去气腔室内部，可通过动力驱动旋转轴高速转动。本发明中随着旋转轴和扇叶的旋转，使得去气腔室内的溶液跟随旋转，溶液在去气腔室内壁旋转，而去气腔室内的横截面越小的方位，溶液流速越大，在此过程中，由于离心力的作用，溶液中的液体向去气腔室内壁方向聚集，气体因质量小于液体而向中心方向的旋转轴聚集，从而在旋转轴附近形成气体带，则液体的旋转加速度使气体带产生轴向压差，气体从高压方向向低压方向流动并集积溶液表面中心处。
主权项：1.一种高纯BOE蚀刻液生产设备，其特征在于，包括：去气腔室1，其下端的直径大于其上端的直径；进料管2和出料管3，均与去气腔室1底部连通，且具有可控制管道开关的阀门；旋转轴4，转动设置在去气腔室1内部，可通过动力驱动旋转轴4高速转动；多个扇叶17，设置在旋转轴4上；固定环5，固定套接在旋转轴4外壁；至少一个单向孔6，开设在固定环5上；锥形环体7，与固定环5固定相连且位于固定环5上方；随着旋转轴4和扇叶17的旋转，使得去气腔室1内的溶液跟随旋转，溶液在去气腔室1内壁旋转，而去气腔室1内的横截面越小的方位，溶液流速越大，则液体的旋转加速度使气体带产生轴向压差，气体从高压方向向低压方向流动并集积溶液表面中心处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏联恒电子新材料科技有限公司 一种高纯BOE蚀刻液生产设备及其生产工艺
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