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申请/专利权人：浙江日月光能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；酸洗仓中设有用于传送硅片的滚轮；加热仓中设有加热棒以及支承装置；支承装置包括：将加热棒压紧在导热隔板底面的顶板，与顶板底面固接的升降杆，被升降杆贯穿的支承板，套装在升降杆上且两端分别与导热隔板、支承板固接的弹簧，以及与升降杆底端固接的踏板；加热仓还设有仓门。本实用新型的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其能刻蚀去掉硅片背面和边缘的BSG死层；且能将加热棒与用于刻蚀BSG的酸液隔开，可防止加热棒与酸液直接接触，避免加热棒被酸液腐蚀，增加加热棒的使用寿命；还方便加热棒的更换和维护。
主权项：1.一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述酸洗槽包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；所述酸洗仓中设有用于传送硅片的滚轮；所述加热仓中设有加热棒以及支承装置；所述支承装置包括：将加热棒压紧在导热隔板底面的顶板，与顶板底面固接的升降杆，被升降杆贯穿的支承板，套装在升降杆上且两端分别与导热隔板、支承板固接的弹簧，以及与升降杆底端固接的踏板；所述加热仓还设有仓门。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江日月光能科技有限公司 一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽
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