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申请/专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
摘要：本发明涉及纳米压印技术领域，公开了一种用于纳米压印工艺的SU‑8压印胶，包括：SU‑8环氧树脂、活性稀释剂、光引发剂和助剂；所述活性稀释剂选自单官能团环氧类活性稀释剂、双官能团环氧类活性稀释剂或多官能团环氧类活性稀释剂中的至少一种。图案固化的制备方法为将上述SU‑8压印胶滴加在基片上，经过旋涂、光照、后固化。本发明公开的SU‑8压印胶中选用环氧类的活性稀释剂，因其不含溶剂，可避免繁琐的工艺，并通过筛选合适的低表面能助剂，降低表面能，使其具有较好的涂膜均匀性及脱模性，已成功用于纳米压印工艺领域。
主权项：1.一种用于纳米压印工艺的SU-8压印胶，其特征在于，所述SU-8压印胶包括：SU-8环氧树脂、活性稀释剂、光引发剂和助剂；所述活性稀释剂选自单官能团环氧类活性稀释剂、双官能团环氧类活性稀释剂或多官能团环氧类活性稀释剂中的至少一种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 徐州博康信息化学品有限公司 一种用于纳米压印工艺的SU-8压印胶及图案固化的制备方法
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