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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本实用新型公开了一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备，其是在暗室的中间位置设置用于放置待检测硅晶圆的检测平台，在检测平台的上、下、左、右四个方向处分别设置特定光波长的LED环形光源，在待检测硅晶圆的正上方设置光学凸透镜，在凸透镜的正上方设置两个光电探测器以及带动光电探测器移动的电动滑台。本实用新型的设备具备对硅晶圆上下表面同时成像的功能，可实现对硅晶圆的无损双面检测。
主权项：1.一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：包括暗室，所述暗室的两侧内壁上固定有四个相同的魔术手，每个魔术手夹持有LED环形光源，四个LED环形光源的中间位置设置检测平台，其中两个LED环形光源左右对称设置在检测平台的上方、其余两个LED环形光源左右对称设置在检测平台的下方，检测平台中间用于放置待检测硅晶圆；所述待检测硅晶圆的正上方设置光学凸透镜，所述凸透镜的正上方设置两个光电探测器，在所述暗室的正上方内壁上固定一个电动滑台，所述电动滑台和两个光电探测器固定连接，可带动两光电探测器移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备
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