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一种用于TGG晶片检测的光学检测系统 

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申请/专利权人:安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司

摘要:本发明公开了一种用于TGG晶片检测的光学检测系统,属于TGG晶片检测技术领域,包括晶片光性库、规划模块、检测模块和服务器;所述晶片光性库用于进行TGG晶片的光学特性数据储存;所述规划模块用于进行TGG晶片的光学检测规划,设置TGG晶片检测方案,获取TGG晶片检测区,并根据获得的TGG晶片检测方案在TGG晶片检测区布设相应的检测设备;所述检测模块用于进行TGG晶片的光学检测,通过设置规划模块,为企业设置TGG晶片检测方案,根据设置的TGG晶片检测方案进行检测设备的布设和后续TGG晶片的检测,实现TGG晶片的自动化和智能化检测,大大提高TGG晶片的检测效率。

主权项:1.一种用于TGG晶片检测的光学检测系统,其特征在于,包括晶片光性库、规划模块、检测模块和服务器;所述晶片光性库用于进行TGG晶片的光学特性数据储存;所述规划模块用于进行TGG晶片的光学检测规划,设置TGG晶片检测方案,获取TGG晶片检测区,并根据获得的TGG晶片检测方案在TGG晶片检测区布设相应的检测设备;所述检测模块用于进行TGG晶片的光学检测,具体方法包括:对经过TGG晶片检测区的TGG晶片通过相应的检测设备采集检测数据,将采集的检测数据整合为分析数据,从晶片光性库中匹配对应的TGG晶片光学特性数据;根据检测设备特性采集当前检测区域的环境因子,建立检测模型,将TGG晶片光学特性数据、分析数据和环境因子整合为检测输入数据,将检测输入数据输入到检测模型中,获得检测结果,检测结果包括检测合格和检测不合格,对检测结果为检测不合格的TGG晶片进行标记,并筛选出被标记的TGG晶片。

全文数据:

权利要求:

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