恭喜株式会社岛津制作所古田匡智获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社岛津制作所申请的专利自由基产生装置和离子分析装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115885364B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180051765.6,技术领域涉及:H05H1/30;该发明授权自由基产生装置和离子分析装置是由古田匡智设计研发完成,并于2021-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本自由基产生装置和离子分析装置在说明书摘要公布了:本发明的自由基产生装置的一技术方案包括:圆筒管410,其由介电体形成,其内部供等离子体原料导入;天线411,其由导电体形成,卷绕于圆筒管的周围;外侧导体部412,其内部供圆筒管贯穿,该外侧导体部具有与该圆筒管同轴且截面为同心圆状的导电性的内周面;以及连接部420,其是向外侧导体部的内周面和圆筒管的外周面之间的间隙插入的圆筒状体,与该外侧导体部的内周面和天线均接触而将两者电连接,连接部是包含内筒体421和外筒体424的双层圆筒管构造,内筒体和外筒体各自的相同侧的端部被在轴向上延伸的切口在周向上分割而形成多个分割片421b、424b,而且,在该内筒体的分割片的外侧形成有随着朝向顶端侧而向外方鼓出的锥形部421c或者在该外筒体的分割片的内侧形成有随着朝向顶端侧而向内方鼓出的锥形部421c。
本发明授权自由基产生装置和离子分析装置在权利要求书中公布了:1.一种自由基产生装置,其中,该自由基产生装置包括:圆筒管,其由介电体形成,其内部供等离子体原料导入;天线,其由导电体形成,卷绕于所述圆筒管的周围;外侧导体部,其内部供所述圆筒管贯穿,该外侧导体部具有与该圆筒管同轴且截面是同心圆状的导电性的内周面;以及连接部,其是向所述外侧导体部的内周面和所述圆筒管的外周面之间的间隙插入的圆筒状体,与该外侧导体部的内周面和所述天线均接触而将两者电连接,所述连接部是包含内筒体和外筒体的双层圆筒管构造,所述内筒体和所述外筒体各自的相同侧的端部被在轴向上延伸的切口在周向上分割而形成多个分割片,而且,在该内筒体的分割片的外侧形成有随着朝向顶端侧而向外方鼓出的锥形部或者在该外筒体的分割片的内侧形成有随着朝向顶端侧而向内方鼓出的锥形部。
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