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龙图腾网恭喜四川鸿源鼎芯科技有限公司申请的专利一种双面光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113835312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111284460.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种双面光刻机是由张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪设计研发完成，并于2021-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双面光刻机在说明书摘要公布了：本发明属于光刻机技术领域，公开了一种双面光刻机，机架上设有第一机械臂，第一机械臂的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、曝光工位和下料工位，上料工位处设有上料盒，预对位工位处设有预对位装置，曝光工位处设有工件台和曝光机构，下料工位处设有下料盒。本发明所提供的一种双面光刻机，通过机械臂实现硅片在各个工位的转运，硅片从上料盒取出后先放到预对位装置找到硅片的切边以及初步的定中心，然后再将硅片放到已经对好位的工件台上，曝光机构进行曝光，曝光后的硅片被取出放入到下料盒内，重复上述循环即可实现自动化的光刻作业。

本发明授权一种双面光刻机在权利要求书中公布了：1.一种双面光刻机，其特征在于：包括机架（1），机架（1）上设有第一机械臂（2），第一机械臂（2）的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、曝光工位和下料工位，上料工位处设有上料盒（3），预对位工位处设有预对位装置（4），曝光工位处设有工件台（5）和曝光机构（6），下料工位处设有下料盒（7）；工件台（5）包括XYY平台（501）、固定安装在XYY平台（501）上的下安装台（502）以及位于下安装台（502）上方的上安装台（503），上安装台（503）安装在升降机构（504）上，上安装台（503）上安装有上掩膜版（505），下安装台（502）上安装有下掩膜版（506）；XYY平台（501）和下安装台（502）之间设有第一摄像头（507）；所述预对位装置（4）包括预对位台（401），预对位台（401）的两侧分别设有第一气缸（402）和第二气缸，第一气缸（402）的自由端上设有第一推爪（403），第二气缸的自由端上设有第二推爪；预对位台（401）的上方设有第二摄像头（404）；所述第一推爪（403）上设有第三气缸（405），第三气缸（405）的自由端上设有第三推爪（406），第二推爪上设有第四气缸，第四气缸的自由端上设有第四推爪；第一推爪（403）、第二推爪、第三推爪（406）和第四推爪朝向对位台（401）的一端均为圆弧形，使用时，第三推爪（406）和第四推爪的位置低于第一推爪（403）和第二推爪的位置，第三推爪（406）和第四推爪靠近，第一推爪（403）和第二推爪靠近，第三推爪（406）和第四推爪与预对位台（401）的两侧接触，第一推爪（403）和第二推爪与硅片的两侧接触，推动硅片的中心与预对位台（401）的中心重叠。

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