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龙图腾网恭喜范心怡申请的专利膜厚修正板及光学直接监控镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113512712B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110609142.8，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权膜厚修正板及光学直接监控镀膜设备是由范心怡;范卫星设计研发完成，并于2021-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本膜厚修正板及光学直接监控镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种膜厚修正板，其上开设有至少一个暴露孔，用于暴露玻璃基板的边缘部分，膜厚修正板的非暴露孔部分能够在玻璃基板的径向方向上，将玻璃基板全部遮挡，暴露的边缘部分能够进行中心直接监控，以减小光学薄膜滤光片的中心波长变化。同时，本发明提出一种包含上述膜厚修正板的光学直接监控镀膜设备，通过将旋转轴设置在偏离真空室中心轴的部位、将光学直接监控点设定在真空室中心轴部位，同时辅以具有暴露孔的膜厚修正板，可以使同一玻璃基板上同时具有中心直接监控和边缘直接监控的特点，既能保证薄膜光学滤光片的高产出率，降低生产成本，又能确保光学薄膜滤光片中心波长分布的一致性，实用性强。

本发明授权膜厚修正板及光学直接监控镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种光学直接监控镀膜设备，包括膜厚修正板、真空室和光学监控系统，其特征在于：所述膜厚修正板，用于安装在玻璃基板的前方，所述膜厚修正板为圆形修正板，所述膜厚修正板与所述玻璃基板间隔设置；所述膜厚修正板上开设有至少一个暴露孔，所述暴露孔用于暴露所述玻璃基板的边缘部分，以使暴露的所述边缘部分能够进行中心直接监控；所述膜厚修正板的非暴露孔部分能够在所述玻璃基板的径向方向上，将所述玻璃基板全部遮挡，其中，任意所述暴露孔均为张角为0°~360°的扇形暴露孔，且任意所述扇形暴露孔的圆弧线均位于所述圆形修正板的边缘内，以确保所述圆形修正板的边缘保持连续；所述圆形修正板的圆心和任意所述扇形暴露孔的顶点均位于所述玻璃基板的旋转轴所在直线上，所述扇形暴露孔的两侧边为锯齿线或波浪线；所述玻璃基板的旋转轴偏离所述真空室的中心轴设置；所述膜厚修正板安装在所述玻璃基板的前方，所述暴露孔将所述玻璃基板的边缘部分暴露；所述光学监控系统中形成的准直光穿过所述暴露孔，并与所述中心轴重合，以使所述玻璃基板暴露于所述暴露孔的边缘部分被所述光学监控系统进行中心直接监控；被所述膜厚修正板遮挡的所述玻璃基板偏离所述准直光，以被所述光学监控系统进行边缘直接监控；所述玻璃基板以10~1200转分钟的转速绕所述旋转轴旋转。

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