恭喜清华大学;华海清科股份有限公司赵德文获国家专利权
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龙图腾网恭喜清华大学;华海清科股份有限公司申请的专利一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110861000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911398791.7，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置是由赵德文;刘远航;孟松林设计研发完成，并于2019-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销和法兰盘由金属材料制成，所述定位销的部分或全部表面设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘接触不产生金属污染物。
本发明授权一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种用于承载头的驱动组件，其特征在于，包括配置于所述驱动组件底部用于连接承载头的法兰盘，所述法兰盘具有定位销，所述定位销的主体由金属材料制成并且其部分或全部表面设置有避免产生磨损的非金属结构；所述金属材料为不含有铝元素的硬质金属材料；所述非金属结构设置于所述定位销的用于插入承载头的定位销孔的端面处，由塑料、陶瓷、玻璃中的至少一种制成；所述非金属结构形成为圆台，所述圆台与定位销结合的底面的直径等于所述定位销的结合面的直径并且所述圆台顶面的直径小于等于所述定位销的直径，以使定位销便于与定位销孔对准并防止两者未对准而损伤法兰盘表面产生金属碎屑和或金属微粒。
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