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摘要：本实用新型提供了一种余气回收系统，涉及单晶生产技术领域，其包括：依次连接的气柜和提纯机构，还包括：汽化器，其入口与液氩槽车的出料口连接；余气缓冲储罐，其入口与汽化器的出口连接；余气送回管道，用于连接余气缓冲储罐的出口和气柜的入口；减压阀，设置在余气送回管道上，用于将余气送回管道内的压力减压至满足气柜的设计压力。通过汽化器、余气缓冲储罐、余气送回管道和减压阀的设置，能够将余气缓冲储罐的余气输送至氩气回收装置中进行提纯，解决了液氩槽车余气无法回收的难题。
主权项：1.一种余气回收系统，包括依次连接的气柜和提纯机构，其特征在于，还包括：余气缓冲储罐，其入口与液氩槽车的出料口连接；余气送回管道，用于连接所述余气缓冲储罐的出口和所述气柜的入口；减压阀，设置在所述余气送回管道上，用于将所述余气送回管道内的压力减压至满足所述气柜的设计压力。
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百度查询： 四川永祥光伏科技有限公司 余气回收系统
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