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晶体管型光电探测器及其制备方法 

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摘要:本公开提供一种晶体管型光电探测器,包括:第一电极;第二电极,第二电极与第一电极间隔开;沟道层,沟道层至少设置在第一电极与第二电极之间;光敏层,用于接收光信号;第一介质层,第一介质层设置在沟道层与光敏层之间;以及第二介质层,第二介质层至少设置在光敏层与第一电极之间、和或至少设置在光敏层与第二电极之间,以便阻断光敏层与第一电极和或第二电极的导电通道。本公开还提供了一种晶体管型光电探测器的制备方法。

主权项:1.一种晶体管型光电探测器,其特征在于,包括:第一电极;第二电极,所述第二电极与所述第一电极间隔开;沟道层,所述沟道层至少设置在所述第一电极与所述第二电极之间;光敏层,用于接收光信号;第一介质层,所述第一介质层设置在所述沟道层与所述光敏层之间,其中所述第一介质层与光敏层相邻设置;以及第二介质层,所述第二介质层至少设置在所述光敏层与所述第一电极之间、和或至少设置在所述光敏层与所述第二电极之间,以便阻断所述光敏层与所述第一电极和或第二电极的导电通道,其中第二介质层与第一电极和第二电极相邻设置。

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百度查询: 北京元芯碳基集成电路研究院 北京大学 北京交通大学 晶体管型光电探测器及其制备方法

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