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摘要：根据本发明的方面，用于制造结晶膜的方法包括气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。
主权项：1.一种用于制造结晶膜的方法，包括：经由含金属的原料气体的供应管将含金属的原料气体供应到反应室中到基板上，并且经由含氧的原料气体的供应管将含氧的原料气体供应到所述反应室中到所述基板上，通过在所述含金属的原料气体的供应管中气化金属源来形成所述含金属的原料气体；以及经由反应气体的供应气体管将反应气体供应到所述反应室中到所述基板上，以在所述反应气体的气流下将结晶膜形成到所述基板上，所述金属包括镓、铝、铟、铁、铬、钒、钛、铑、镍、钴和铱中的一种或多种金属，所述反应气体为氯化氢气体。
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百度查询： 株式会社FLOSFIA 国立研究开发法人物质·材料研究机构 用于制造结晶膜的方法
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