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摘要：本发明公开了一种可调控的Ti‑Al‑C系MAX相涂层的制备方法，包括：以Ti‑Al复合靶作为溅射靶，以碳氢气体作为反应气源，所述的碳氢气体的流量为5‑12sccm，采用直流磁控溅射，对清洁后的基体表面溅射得到Ti‑Al‑C涂层，将所述的Ti‑Al‑C涂层加热到600‑700℃，保温60‑180min得到Ti‑Al‑C系MAX相涂层。该方法能够简单、高效的调控不同的Ti‑Al‑C系MAX相，同时能够降低热处理温度。
主权项：1.一种可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，包括：以Ti-Al复合靶作为溅射靶，以碳氢气体作为反应气源，持续通入惰性气体，采用直流磁控溅射，对清洁后的基体表面进行直流磁控溅射得到Ti-Al-C涂层，将所述的Ti-Al-C涂层加热到600-700℃，保温60-180min得到Ti-Al-C系MAX相涂层；所述的碳氢气体的流量为7.5sccm，得到Ti-Al-C系MAX相为211相；所述的碳氢气体的流量为10sccm，得到Ti-Al-C系MAX相为312相；所述惰性气体的流量为200sccm；所述的直流磁控溅射的参数为：溅射靶功率为1500-2500W，基体负偏压为0-100V，腔体气压为0.6-1.2Pa，沉积时间为60-180min，真空度低于1-3×10-5Pa；所述的Ti-Al复合靶的Ti-Al元素比为2:1.2～1.5。
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百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波工业技术研究院 一种可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法
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