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一种纳米多层Cr2AlC MAX相陶瓷涂层及其制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院兰州化学物理研究所

摘要:本发明提供了一种纳米多层Cr2AlCMAX相陶瓷涂层及其制备方法,属于陶瓷涂层技术领域。本发明采用直流磁控溅射技术,以金属Cr靶作为靶材,在基底表面沉积形成Cr过渡层;在所述Cr过渡层的表面同时沉积Cr和C,得到Cr‑C中间层;在所述Cr‑C中间层的表面沉积形成由Cr层、C层和Al层组成的依次累积的重复单元,按照上述顺序重复沉积,形成Cr‑Al‑C涂层;将所沉积的复合涂层进行真空热处理,自然冷却至室温,获得Cr2AlCMAX相陶瓷涂层。本发明构建了Cr‑Al‑C复合多层体系,所提供的MAX相涂层工艺的沉积温度低,在真空环境中经较短时间热处理即可获得Cr2AlC涂层,同时制备的MAX相涂层具有高纯度、高硬度、成分均匀、结构致密等优点。

主权项:1.一种纳米多层Cr2AlCMAX相陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1以金属Cr为靶材,以惰性气体为工作气体,采用直流磁控溅射沉积,在基底表面沉积形成Cr过渡层;2在Cr过渡层表面同时沉积Cr和C,得到Cr-C中间层;3在Cr-C中间层表面同时沉积Cr、Al和C,得到由Cr、Al和C组成的依次累积的重复单元,重复沉积Cr、Al和C,得到Cr-Al-C复合涂层;4对沉积好的涂层进行真空热处理,得到Cr2AlCMAX相陶瓷涂层。

全文数据:

权利要求:

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