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摘要：本实用新型公开了一种压阻自感应式原子力显微镜视觉系统，包括主体架、升降装置、光学装置和传感器，主体架放置在检测平台上，升降装置设置在主体架上的安装盒内，光学装置设置在主体架中的安装架上，安装架与升降装置连接，安装架在升降装置的作用下，沿主体架可控移动，传感器设置在安装架上，视觉系统选取光学装置和传感器分别计算的分辨率中最优的分辨率。优点，利用升降装置调整设置在主体架上的安装架的位置，又通过升降装置调整光学装置和传感器的焦距，同时利用设置在安装架上的光学装置和传感器分别计算出两组分辨率，通过视觉系统选择两组分辨率中最大值的分辨率作用最优分辨率，并利用最优分辨率对探针与晶圆表面特征对象进行定位。
主权项：1.一种压阻自感应式原子力显微镜视觉系统，其特征在于：包括主体架（1）、升降装置（2）、光学装置（3）和传感器（4），所述主体架（1）放置在检测平台上，升降装置（2）设置在主体架（1）上的安装盒（11）内，用于视觉系统成像的光学装置（3）设置在主体架（1）中的安装架（13）上，所述安装架（13）与设置在安装盒（11）内的升降装置（2）连接，所述安装架（13）在升降装置（2）的作用下，沿主体架（1）可控移动，与光学装置（3）计算的成像分辨率进行参照对比的传感器（4）设置在安装架（13）上，视觉系统选取光学装置（3）和传感器（4）分别计算的两组分辨率中最优的分辨率。
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百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 压阻自感应式原子力显微镜视觉系统
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