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摘要：本申请提供了一种电容式薄膜真空计，涉及真空计量技术领域，解决了电容式薄膜真空计测量精准度较低的技术问题。该电容式薄膜真空计包括：壳体，壳体内具有容纳腔；膜片，膜片设置于容纳腔内，并与壳体形成真空腔；至少两个电极，每一电极至少部分设置于真空腔内，电极与膜片共同构成信号取样结构，每一电极包括金属块。由于金属块加工工艺简单成熟如通过车、铣、磨等工艺加工制成，因此，相比于丝印工艺制成的电极，金属块构成的电极厚度更加均匀，工艺质量更高，从而可以提升电容式薄膜真空计的精准度。
主权项：1.一种电容式薄膜真空计，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内具有容纳腔；膜片，所述膜片设置于所述容纳腔内，并与所述壳体形成真空腔；至少两个电极，每一所述电极至少部分设置于所述真空腔内，所述电极与所述膜片共同构成信号取样结构，每一所述电极包括金属块。
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百度查询： 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 电容式薄膜真空计
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