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摘要：本实用新型涉及一种离子注入技术领域，尤其涉及一种离子注入用高耐热绝缘屏蔽组件，包括用于连通离子注入装置间的连通件及安装于所述连通件靠近于离子源一侧的安装件，还包括固定连接所述安装件用于控制所述安装件位移以固定连接离子源的调节件，所述连通件包括防辐内管及套接至防辐内管外的绝缘套管，所述防辐内管与绝缘套管之间设有隔热夹层；本实用新型通过在防辐内管外部装配一层绝缘套管，实现了双重防护功能，可有效阻挡辐射泄漏，并进行电气隔离。于防辐内管与绝缘套管之间留有隔热夹层，并设置散热凸条结构，有效增强整体散热效果，可快速导出内部积累的热量。及通过调节螺杆控制夹持片可实现快速安装和拆卸。
主权项：1.一种离子注入用高耐热绝缘屏蔽组件，其特征在于，包括用于连通离子注入装置间的连通件及安装于所述连通件靠近于离子源一侧的安装件，还包括固定连接所述安装件用于控制所述安装件位移以固定连接离子源的调节件，所述连通件包括防辐内管及套接至防辐内管外的绝缘套管，所述防辐内管与绝缘套管之间设有隔热夹层。
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百度查询： 无锡诚承电子科技有限公司 一种离子注入用高耐热绝缘屏蔽组件
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