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摘要：本申请涉及光伏设备技术领域。本申请实施例提供了扩散炉及太阳能电池流水线生产设备。在本申请实施例中，通过在石英舟的顶侧设置第一进气管、在石英舟的第一侧和第二侧分别设置第二进气管和第三进气管、在石英舟的底侧设置出气管，进而能够形成在石英舟的顶侧、第一侧和第二侧进气，并于石英舟的底侧出气的流场。由此，由于能够在石英舟的多侧进气且在石英舟的底侧出气，改善了炉腔内流场的均匀性，进而改善了硅片的扩散均匀性，提高了电池片的良率和效率。
主权项：1.一种扩散炉，其特征在于，包括：炉体和石英舟，所述炉体具有沿第一方向纵长延伸地设置的炉腔，所述石英舟位于所述炉腔内；第一进气管，至少部分位于所述炉腔内，且位于所述石英舟的顶侧；第二进气管和第三进气管，均至少部分位于所述炉腔内；所述第二进气管设于所述石英舟的第一侧，所述第三进气管设于所述石英舟的第二侧，所述第一侧和所述第二侧沿第二方向相对设置；及出气管，至少部分位于所述炉腔内，且位于所述石英舟的底侧；其中，所述石英舟的顶侧和所述石英舟的底侧沿第三方向相对设置，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此垂直。
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百度查询： 天合光能(淮安)光电有限公司 扩散炉及太阳能电池流水线生产设备
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