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摘要：本发明涉及应用于半导体制造技术领域的一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，包括高效批检组件和检判智控器，高效批检组件包括固定半筒体、与固定半筒体相匹配的活动半筒体，在上述高效批检组件、检判智控器的联合作用下，使得本申请中的检测装置不仅可自动对晶圆进行是否存在尺寸缺陷这一方面的检测，且可一次性检测多个晶圆，从而可有效提高检测效率，且在检测过程中，晶圆不会受力，从而可有效避免晶圆因检测而受到损伤，提高了检测装置的可靠性和稳定性，且本申请中的检测装置还可适用于不同规格的晶圆，并可同时对不同规格的晶圆进行检测，大大提高了检测装置的实用性，并可进一步提高检测效率。

主权项：1.一种高效型晶圆尺寸缺陷检测装置，包括高效批检组件和检判智控器（002），其特征在于，所述高效批检组件包括固定半筒体（101）、与固定半筒体（101）相匹配的活动半筒体（102），所述固定半筒体（101）、活动半筒体（102）均设置为半圆筒状，且固定半筒体（101）和活动半筒体（102）的顶端均设置为封口状、底端均设置为开口状，所述固定半筒体（101）的顶端固定安装有控贴气缸（103），所述控贴气缸（103）的输出端与活动半筒体（102）固定连接，所述固定半筒体（101）的内壁上固定安装有多个与之相匹配的支撑隔板（104），所述支撑隔板（104）设置为圆形，每个所述支撑隔板（104）上均固定安装有供光灯（105）以及多个垫晶块（106），所述固定半筒体（101）的内壁上固定安装有多个上亮度传感器（107），所述固定半筒体（101）的外壁上固定安装有多个示果灯（108）；所述检判智控器（002）固定安装在固定半筒体（101）的外壁上，所述检判智控器（002）上固定安装有启检开关（109），所述检判智控器（002）中设置有检测控制模块、分析判断模块，所述启检开关（109）与检测控制模块信号连接，所述检测控制模块与供光灯（105）、上亮度传感器（107）信号连接，所述上亮度传感器（107）与分析判断模块信号连接，所述分析判断模块与示果灯（108）信号连接；所述固定半筒体（101）、活动半筒体（102）、支撑隔板（104）均采用不透光材料制成，所述垫晶块（106）的顶端高于供光灯（105）的顶端，所述上亮度传感器（107）与支撑隔板（104）数量相等且一一对应，所述上亮度传感器（107）位于对应支撑隔板（104）的上方，所述示果灯（108）与支撑隔板（104）数量相等且一一对应；所述固定半筒体（101）的内壁上设置有均匀的反光涂层，所述支撑隔板（104）上还固定安装有下亮度传感器（110），所述检判智控器（002）中还设置有检灯提醒模块，所述检测控制模块与下亮度传感器（110）信号连接，所述下亮度传感器（110）与检灯提醒模块信号连接，所述检灯提醒模块与示果灯（108）信号连接。

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