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摘要：本发明公开了一种微秒脉冲微束产生装置，包括试验台，所述试验台顶面固接光学平台、靶座真空室、分析真空室及束斑测量室。本发明与现有技术相比，靶座真空室内的靶可以更换，采用激光器发出脉冲激光轰击不同的靶，可以产生不同的消融等离子体，再经过磁场调制、静电分析和静电聚焦，能够分别提供多种元素、多种离子电荷态以及不同微秒脉宽的脉冲离子微束，这在离子束成像、离子束蚀刻、离子束注入及薄膜沉积、离子束微纳加工等领域具有广阔的应用前景，目前微束产生方式都是无法实现的；此外本发明采用等离子体膨胀扩散后再进行筛选聚焦，使得离子温度较低，离子束发射度较小，束流直径能够比较容易的聚焦到μm量级，甚至亚μm量级，形成的微束品质更加优异，同时本发明产生的具有时间结构的微秒脉冲微束，与生物细胞作用后，能够获得离子辐射生物效应的演化机制，有一定的医学研究价值。

主权项：1.一种微秒脉冲微束产生装置，包括试验台（1），其特征在于：所述试验台（1）顶面固接光学平台（2）、靶座真空室（3）、分析真空室（4）及束斑测量室（7），所述靶座真空室（3）靠近光学平台（2）一侧固接接光法兰（35），所述光学平台（2）顶面固接激光器（21），所述光学平台（2）顶面转动连接转台（22），所述转台（22）顶面固接反射镜（23）；所述靶座真空室（3）靠近分析真空室（4）一侧固接颈法兰（34），所述颈法兰（34）固接等离子体调控腔（5）一端，所述等离子体调控腔（5）另一端固接等离子体约束腔（6）一端，所述等离子体约束腔（6）另一端固接分析真空室（4），所述束斑测量室（7）靠近分析真空室（4）一侧固接离子光学腔（10）一端，所述离子光学腔（10）另一端固接分析真空室（4），所述靶座真空室（3）内部固接旋转结构（32）及平移结构（33），所述旋转结构（32）上插接旋转靶结构（8），所述平移结构（33）上插接平移靶结构（9）；所述旋转结构（32）包括固定嵌接在靶座真空室（3）内侧底面的圆台（321），所述圆台（321）顶面固接立杆（322），所述立杆（322）顶端固接电机仓（323），所述电机仓（323）内固接旋转电机（324），所述旋转电机（324）转轴处固接侧连接板（325），所述侧连接板（325）远离旋转电机（324）一侧顶面开设T型滑槽（326）；所述旋转靶结构（8）包括圆形靶座（82），所述圆形靶座（82）一侧中心位置固接T型滑块（81），所述T型滑块（81）插接在T型滑槽（326）内，所述T型滑槽（326）内侧为橡胶结构，所述T型滑块（81）与T型滑槽（326）过盈配合，所述圆形靶座（82）远离T型滑块（81）一侧均匀固接多个第一靶（83）；所述平移结构（33）包括固定嵌接在靶座真空室（3）内底面的嵌板（331），所述嵌板（331）顶面开设滑槽（332），所述滑槽（332）内滑动连接滑块（333），所述滑块（333）顶面固接顶连接板（334），所述顶连接板（334）顶面四角处固接四个插柱（335），所述滑槽（332）内水平转动连接丝杆（336），所述滑块（333）内固接螺纹套筒（337），所述丝杆（336）啮合连接螺纹套筒（337），所述嵌板（331）内部一端固接步进电机（338），所述步进电机（338）转轴处固接丝杆（336）端部。

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