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摘要：本发明所述的一种碳化硅蒸汽喷射真空泵的碳化硅喷咀具有高强度、高导热、耐高温等性能；本发明的碳化硅喷咀综合了蒸汽腔和喷嘴两个功能，使蒸汽喷射真空泵结构更简单，组装更方便；本发明的钢衬四氟混合室壳体和扩散器采用钢衬四氟材质，既能满足防腐要求，又能相应减少设备投入，有利于推广应用；本发明的过流件部分防腐性能优异，可以满足高温、强腐蚀条件下的抽真空要求；通过金属压板法兰将碳化硅喷咀密封面通过法兰对夹的方式与衬四氟混合室法兰连接在一起，增加了装配的可靠性；本发明包括用于喷射蒸汽的碳化硅喷咀、钢衬四氟混合室壳体、钢衬四氟扩散器和金属压板法兰。

主权项：1.一种碳化硅蒸汽喷射真空泵，其特征在于：包括用于喷射蒸汽的碳化硅喷咀（1）、钢衬四氟混合室壳体（2）、钢衬四氟扩散器（3）和金属压板法兰（4），所述钢衬四氟扩散器（3）包括第一锥形管（301）、圆柱管（302）和第二锥形管（303），所述第一锥形管（301）、圆柱管（302）和第二锥形管（303）同轴设置，所述圆柱管（302）的两端分别与第一锥形管（301）的小直径端和第二锥形管（303）的小直径端固定连通，所述钢衬四氟混合室壳体（2）两端分别设置有进口和出口，所述钢衬四氟混合室壳体（2）的进口端固定设置有用于与金属压板法兰（4）相配合的第一法兰（201），钢衬四氟混合室壳体（2）的出口端与第一锥形管（301）的大直径端固定连通，钢衬四氟混合室壳体（2）上设置有用于供待混合气体进入钢衬四氟混合室壳体（2）中的被抽气入口（5），所述碳化硅喷咀（1）上沿其蒸汽入口到蒸汽出口的方向依次设置有圆柱形蒸汽腔（101）、圆锥形收缩腔（102）、圆柱形喉部腔（103）和圆锥形扩张腔（104），所述碳化硅喷咀（1）靠近圆柱形蒸汽腔（101）的一端通过金属压板法兰（4）与第一法兰（201）固定连接，碳化硅喷咀（1）的另一端伸入钢衬四氟混合室壳体（2）中；所述圆柱形蒸汽腔（101）、圆锥形收缩腔（102）、圆柱形喉部腔（103）和圆锥形扩张腔（104）均同轴设置，所述圆柱形喉部腔（103）的两端分别与圆锥形收缩腔（102）的小直径端和圆锥形扩张腔（104）的小直径端固定连通；所述圆锥形收缩腔（102）的大直径端与圆柱形蒸汽腔（101）相连通；所述圆锥形收缩腔（102）大直径端的直径大于圆锥形扩张腔（104）大直径端的直径；所述第一锥形管（301）大直径端的内径小于第二锥形管（303）大直径端的内径；所述圆柱形蒸汽腔（101）、圆锥形收缩腔（102）、圆柱形喉部腔（103）、圆锥形扩张腔（104）、第一锥形管（301）、圆柱管（302）和第二锥形管（303）同轴设置。

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