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摘要：本申请涉及半导体技术领域，公开一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺，生产合成装置包括反应罐体，反应罐体的罐底设有第一转动板，第一转动板与反应罐体的底壁围设成第一集气腔室，第一转动板与反应罐体的侧壁围设成反应腔室，第一转动板靠近反应腔室一侧设有竖向的第一导气管，第一导气管与第一集气腔室相连通，第一导气管外周开设有若干个供三氯化硼气体穿设的透气孔；反应罐体外周设有驱动组件，驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕反应罐体中心轴线公转。在本申请中，驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕着反应罐体的中心轴线转动，使得三氯化硼可以与更大范围的硼氢化钠相接触，提高乙硼烷的生产效率。

主权项：1.一种乙硼烷生产合成装置，其特征在于：包括通过管道相连接的混合罐体（1）、反应罐体（2）、保护气体储存罐（3）、三氯化硼储存罐（4）、真空组件（5）和收集组件（6）；所述混合罐体（1）用于将硼氢化钠和溶剂混合成混合溶液，所述反应罐体（2）与所述混合罐体（1）相连通，所述反应罐体（2）设有供混合溶液投放的进液口，所述反应罐体（2）开设有第一进气口和第二进气口，所述第一进气口与所述保护气体储存罐（3）相连通，所述第二进气口与所述三氯化硼储存罐（4）相连接，所述反应罐体（2）还开设有第一出气口和第二出气口，所述第一出气口与所述真空组件（5）相连通，所述真空组件（5）用于对所述反应罐体（2）抽真空，所述第二出气口与所述收集组件（6）相连通，所述收集组件（6）用于收集所述反应罐体（2）内生成的乙硼烷；所述反应罐体（2）的罐底设有第一转动板（21），所述第一转动板（21）与所述反应罐体（2）的侧壁围设成反应腔室（16），所述反应腔室（16）用于容纳混合溶液，所述第一转动板（21）与所述反应罐体（2）的底壁围设成第一集气腔室（15），所述第一集气腔室（15）与第一进气口相连通，所述第一转动板（21）靠近反应腔室（16）一侧设有竖向的第一导气管（22），所述第一导气管（22）与所述第一集气腔室（15）相连通，所述第一导气管（22）外周开设有若干个供三氯化硼气体穿设的透气孔（221）；所述反应罐体（2）外周设有驱动组件（8），所述驱动组件（8）包括转动电机（81）、第一齿轮（82）和第一齿圈（83），所述第一齿圈（83）与所述第一转动板（21）同轴固定，所述第一齿轮（82）与所述转动电机（81）的驱动端固定连接，所述第一齿轮（82）与所述第一齿圈（83）啮合设置，所述驱动组件（8）驱使所述第一导气管（22）绕所述反应罐体（2）中心轴线公转。

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