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摘要：本发明提供一种吸气剂可电激活的红外探测器结构及其制造方法，红外探测器结构包括探测器芯片晶圆以及封盖，探测器芯片晶圆包括电连接垫，封盖键合在探测器芯片晶圆上，封盖包括深腔、位于深腔底部的凸起、覆盖凸起表面的金属层、覆盖金属层部分表面的吸气剂层。本发明吸气剂层设置在封盖深腔底部的凸起的表面，大大增加了吸气剂层的表面积，以在不影响红外窗口尺寸的情况下提供足够的吸气剂的面积，提升了吸气剂的吸气能力；并且，本发明利用电连接垫使金属层通电，能够加热覆盖在金属层表面的吸气剂层，进而实现了吸气剂层的高温激活，且不影响探测器芯片上微桥阵列区域，大大提高了探测器热敏像元材料的性能，且吸气剂层可二次激活，改善探测器的真空度。
主权项：1.一种吸气剂可电激活的红外探测器结构，其特征在于，包括：探测器芯片晶圆，包括：衬底、设置在所述衬底表面的微桥阵列、设置在所述衬底表面且环绕所述微桥阵列的第一密封环、设置在所述衬底表面且位于所述第一密封环与所述微桥阵列之间的电连接垫；封盖，键合在所述探测器芯片晶圆上，所述封盖包括：深腔、设置在深腔侧墙顶面的第二密封环、设置在所述深腔底面的窗口、位于所述第二密封环与所述窗口之间的凸起、覆盖所述凸起表面的金属层、覆盖所述金属层部分表面的吸气剂层；其中，所述第二密封环通过第一焊接层与所述第一密封环焊接，所述凸起顶面的未被所述吸气剂层覆盖的所述金属层通过第二焊接层与所述电连接垫焊接，所述电连接垫用于使所述金属层通电以激活所述吸气剂层，所述窗口与所述微桥阵列对应。
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百度查询： 浙江大立科技股份有限公司 吸气剂可电激活的红外探测器结构及其制造方法
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