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摘要：本申请公开了一种气体供应系统，涉及半导体生产设备的技术领域，包括纯化器和生产用气设备，纯化器用于对输入供应系统的空气进行提纯，生产用气设备用于利用纯净空气进行生产，纯化器与生产用气设备之间通过总输送管道连通；总输送管道的中间段设置有并列的常用管道和备用管道，备用管道上依次设置有储存罐和汽化器，储存罐的输出端与汽化器的输入端相连通，储存罐用于存储液化空气，汽化器用于将储存罐输入的液化空气汽化为气态空气；在正常工况下，由常用管道输送压缩空气至生产用气设备；在紧急工况下，由储存罐内存储的液化空气进行供气。本申请具有降低供气成本、减少工期的效果。
主权项：1.一种气体供应系统，其特征在于：包括纯化器（1）和生产用气设备（2），所述纯化器（1）用于对输入供应系统的空气进行提纯，所述生产用气设备（2）用于利用纯净空气进行生产，所述纯化器（1）与生产用气设备（2）之间通过总输送管道（3）连通；所述总输送管道（3）的中间段设置有并列的常用管道（4）和备用管道（5），所述备用管道（5）上依次设置有储存罐（51）和汽化器（52），所述储存罐（51）的输出端与汽化器（52）的输入端相连通，所述储存罐（51）用于存储液化空气，所述汽化器（52）用于将储存罐（51）输入的液化空气汽化为气态空气；在正常工况下，由所述常用管道（4）输送压缩空气至生产用气设备（2）；在紧急工况下，由所述储存罐（51）内存储的液化空气进行供气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宏芯气体(上海)有限公司 一种气体供应系统
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