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一种直接成像曝光装置 

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摘要:本发明公开了一种直接成像曝光装置,包括大理石基、激光成像镜头和设备本体,所述设备本体的内部设置有工作腔,所述工作腔上设置有大理石基,所述大理石基的上方设置有YZ移动台,所述YZ移动台的上方设置有吸盘台面。本发明所述的一种直接成像曝光装置,属于成像曝光装置技术领域,吸盘台面上的PCB板B面获取靶点与激光成像镜头的精确信息,即可精准地曝出B面图形;光窗外边缘留有窄缝,用于吸附PCB板边缘,防止翘板,吸盘做有四个规格大小的分区,满足于不同尺寸的PCB板,靶点由曝光图形内部添加后统一曝光在同一面上,弱化翻板的影响,提升内层对位精度。

主权项:1.一种直接成像曝光装置,其特征在于:包括大理石基1、激光成像镜头3和设备本体8,所述设备本体8的内部设置有工作腔10,所述工作腔10上设置有大理石基1,所述大理石基1的上方设置有YZ移动台7,所述YZ移动台7的上方设置有吸盘台面2,所述吸盘台面2包含光窗21和吸盘22,所述YZ移动台7的上方位于吸盘台面2的边缘处设置有下X对准组4、下固定对准组5和下Y对准组6,所述下X对准组4包含转接件41、标定块42和对位相机43,所述下X对准组4沿着X方向往返运动,所述转接件41上有升降气缸和铰链装置,标定块42通过升降气缸和铰链装置翻转至光窗21的上表面,所述对位相机43的焦面装调至光窗21的上表面,所述标定块42的材质为玻璃,所述标定块42的下表面是漫反射面;所述设备本体8上设置有移动导轨11,所述移动导轨11上设置有激光成像镜头3,所述激光成像镜头3沿着X、Y方向往返运动,所述激光成像镜头3可投射出圆形光斑或矩形光斑;所述吸盘台面2上放置有PCB板,且PCB板分为A面和B面。

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