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摘要：本发明公开了一种用于LDI曝光机水平向标定误差监测及补偿的方法，S1：在对物料板曝光前，对平台、相机及曝光镜头进行水平向标定；S2：将物料板所在图形坐标系上各测量点转换至平台坐标系，获得各测量点的理论位置坐标；在完成水平向标定后进行曝光，通过对各测量点理论位置与实际位置的差值进行拟合，计算并补偿平台在曝光位的涨缩、旋转误差及基准镜头和基准相机位置标定误差，监控并补偿曝光镜头倍率、角度及曝光镜头位置关系的标定误差，监控并补偿平台在曝光位的栅格误差，能够将水平向各子系统所产生的误差分解出来并加以补偿，最终保证了套刻的准确性。
主权项：1.一种用于LDI曝光机水平向标定误差监测及补偿的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在对物料板曝光前，对平台、相机及曝光镜头进行水平向标定；S2：将物料板所在图形坐标系上各测量点转换至平台坐标系，获得各测量点的理论位置坐标；S3：使用曝光镜头分别在物料板上曝光各测量点中的圆环和圆，使用相机抓取圆环与圆圆心的偏差，相机获取圆环在平台坐标系下的实际位置坐标，计算各测量点实际位置与理论位置的差值；S4：对各测量点理论位置与实际位置的差值进行拟合，计算并补偿平台在曝光位的涨缩、旋转误差及基准镜头和基准相机位置标定误差，获得第一残差值；S5：基于第一残差值计算并补偿曝光镜头倍率、角度标定及曝光镜头位置关系的标定误差，获得第二残差值；S6：基于第二残差值计算并补偿平台在曝光位的栅格误差。
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百度查询： 源卓微纳科技(苏州)股份有限公司 一种用于LDI曝光机水平向标定误差监测及补偿的方法
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