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一种腔室壁板再生处理方法 

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摘要:本发明提供了一种腔室壁板再生处理方法,包括如下步骤:将腔室壁板的边角打磨圆滑,进行清洗处理;将清洗后的所述腔室壁板放入包含有阳极氧化溶液的处理池;对所述腔室壁板连通直流电,所述直流电的电压小于等于15V,电流1000A~1500A,处理后得到再生后的腔室壁板。本发明提供的腔室壁板再生处理方法通过将腔室壁板的边角研磨圆滑,避免了在阳极氧化过程中电流在边角集中而使得低于0.8mm的薄板烧蚀甚至报废,可以不必去除腔室壁板原先的氧化膜,直接进行阳极氧化,既提高了腔室壁板的再生修复效率,又能够大幅度减少产品的报废率。

主权项:1.一种腔室壁板再生处理方法,其特征在于,包括如下步骤:将腔室壁板的边角打磨圆滑,进行清洗处理;将清洗后的所述腔室壁板放入包含有阳极氧化溶液的处理池;对所述腔室壁板连通直流电,所述直流电的电压小于等于15V,电流1000A~1500A,处理后得到再生后的腔室壁板。

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