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摘要:本申请公开了一种异质结电池及其制作方法,涉及光伏技术领域。异质结电池的制作方法包括在硅片的表面制作绒面;采用光诱导氧化方式对绒面上的设定区域进行氧化以形成氧化保护层,并且同时通过光诱导氧化实现绒面的圆化;对硅片上未覆盖氧化保护层的区域进行抛光;去除氧化保护层;在硅片上制作功能结构以得到异质结电池。本申请的制作方法中,通过光诱导氧化方式能够有选择性地在绒面上的设定区域制作氧化保护层,能够更加灵活地设置硅片上的抛光面和绒面,而且无需圆化处理,能够提高制作效率。本申请实施例提供的异质结电池可通过上述的制作方法制得。
主权项:1.一种异质结电池的制作方法,其特征在于,包括:在硅片的表面制作绒面;采用光诱导氧化方式对所述绒面上的设定区域进行氧化以形成氧化保护层,并且同时通过所述光诱导氧化实现所述绒面的圆化;对所述硅片上未覆盖所述氧化保护层的区域进行抛光;去除所述氧化保护层;在所述硅片上制作功能结构以得到异质结电池。
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